Results 1 - 10 of 36 for General Search
| Result Number | Material Type | Add to My Shelf Action | Record Details and Options |
|---|---|---|---|
| 1 |
Material Type: Article
|
|
On the nitrogen and oxygen incorporation in plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) SiOxNy filmsMarco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-; Wanderla Luis Scopel; Márcia Carvalho de Abreu FantiniThin Solid Films Lausanne v. 402, n. 1-2, p. 154-161, 2002Lausanne 2002Online access |
| 2 |
Material Type: Article
|
|
On the nitrogen and oxygen incorporation in plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) SiOxNy filmsMarco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-; Wanderla Luis Scopel; Márcia Carvalho de Abreu FantiniThin Solid Films Lausanne v. 402, n. 1-2, p. 154-161, 2002Lausanne 2002Online access |
| 3 |
Material Type: Conference Paper
|
|
Comparison of the structural properties of the PECVD SIOXNY dielectric layer with the interface electrical properties in SI/SIOXNY/AL capacitorsKatia Franklin Albertin Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Encontro da SBPMat (3. 2004 Foz do Iguaçu)Program São Carlos: SBPMat, 2004São Carlos SBPMat 2004Online access |
| 4 |
Material Type: Conference Paper
|
|
The structural properties of the protective layer of microlamps under polarizationVinicius Roberto de Sylos Cassimiro Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Marcelo Nelson Páez Carreño 1962-; Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Gustavo Pamplona Rehder 1979-; Rubens Martins Cunha Junior; Nicolas Trcera; Brazilian Workshop on Semiconductor Physics Ago 14-18, 2017 Maresias, São Paulo, SP 18thProceedings Science BWSP São Paulo, 2017 v. 1, 4 p.São Paulo 2017Online access |
| 5 |
Material Type: Conference Paper
|
|
Study of silicon oxynitride films with low mechanical stressDenise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Encontro da SBPMat (3. 2004 Foz do Iguaçu)Program São Carlos: SBPMat, 2004São Carlos SBPMat 2004Online access |
| 6 |
Material Type: Conference Paper
|
|
Xanes characterization in PECVD-SiOxNy filmsDenise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Encontro da SBPMat (3. 2004 Foz do Iguaçu)Program São Carlos: SBPMat, 2004São Carlos SBPMat 2004Online access |
| 7 |
Material Type: Article
|
|
Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVDDenise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu FantiniMaterials Science and Engineering B v. 112, n. 2-3, p. 123-127, 2004São Paulo 2004Online access |
| 8 |
Material Type: Article
|
|
Study of the mechanical and structural properties of silicon oxynitride films for optical applicationsDenise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-Journal of non-crystalline solids v. 352, n. 23-25, p. 2319-2323, 2006Amsterdan 2006Online access |
| 9 |
Material Type: Article
|
|
Local bonding in PECVD-"SiO IND.X" "N IND.Y" filmsDenise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-Journal of Non-Crystalline Solids Amsterdan v. 352, n. 9-20, p. 1298-1302, 2006Amsterdan 2006Online access |
| 10 |
Material Type: Article
|
|
Structural analysis of silicon oxynitride films deposited by PECVDDenise Criado Marco Isaías Alayo Chávez 1971-; Inés Pereyra 1947-; Márcia Carvalho de Abreu FantiniMaterials Science and Engineering B v. 112, n. 2-3, p. 123-127, 2004São Paulo 2004Online access |
Results 1 - 10 of 36 for General Search
Personalize your results
Refine Search Results
Expand My Results
Refine My Results
Subject
- Filmes Finos (21)
- Materiais (9)
- Espectroscopia De Raio X (8)
- Fotoluminescência (4)
- Matéria Condensada (4)
- Espectrometria (4)
- Física De Plasmas (4)
- Difração Por Raios X (3)
- Cristalografia Física (3)
- Estrutura Dos Sólidos (2)
- Matéria Condensada (Propriedades Mecânicas) (2)
- Dielétricos (2)
- Estrutura Dos Materiais (2)
- Semicondutores (Físico-Química) (2)
- Estrutura Atômica (Física Moderna) (2)
- Método De Monte Carlo (2)
- Física (2)
- Química (2)
- Semicondutores (2)
- Nanotecnologia (2)
-
More options
Author/Creator
- Alayo Chávez, M (21)
- Scopel, W (14)
- Prado, R (9)
- Criado, D (9)
- Flank, A (5)
- Tabacniks, M (4)
- Villacorta Cardoso, C (4)
- Encontro da SBPMat (3)
- Paez Carreño, M (2)
- Fazzio, A (2)
- Cuzinatto, R (2)
- D'Addio (2)
- Silva, A (2)
- Páez Carreño, M (2)
- Prado, J (2)
- Ribeiro, M (2)
- Oliveira, R (2)
- Odo, G (2)
-
More options
Creation Date
- Before2001 (2)
- 2001To2001 (6)
- 2002To2002 (6)
- 2003To2004 (15)
- After 2004 (7)
-
More options
Journal Title
- Journal of Non-Crystalline Solids (12)
- Brazilian Journal of Physics (4)
- Thin Solid Films (4)
- Materials Science and Engineering B (4)
- Program (3)
- Thin Solids Films (2)
- PHYSICAL REVIEW B (2)
- Journal of Applied Crystallography (2)
- Proceedings Science BWSP (1)
- Poster Session G522 (1)
- AIP Conference Proceedings (1)
-
More options
Home Page
RSS
Feed
Policies
Contact Us-
Implemented by:
Social Network Logos: 