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Efeitos topográficos em espectros RBS

Silva, Alessandro Alves Da

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Instituto de Física 2006-11-24

Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos.

  • Título:
    Efeitos topográficos em espectros RBS
  • Autor: Silva, Alessandro Alves Da
  • Orientador: Tabacniks, Manfredo Harri
  • Assuntos: Sombreamento; Física Experimental; Simulação; Rbs; Retroespalhamento; Rugosidade Superficial; Simulation; Shadowing; Roughness; Rbs; Experimental Physics; Backscattering
  • Notas: Tese (Doutorado)
  • Descrição: A medida da rugosidade de uma superfície costuma produzir resultados que dependem da metodologia empregada. A microscopia eletrônica de varredura, SEM, a microscopia de força atômica, AFM e a perfilometria são algumas das técnicas costumeiramente empregadas na caracterização de superfícies rugosas. Esse trabalho explora a e desenvolve o uso da espectrometria de retroespalhamento Rutherford, RBS, para medir e quantificar a rugosidade de uma superfície. Quatro diferentes amostras com rugosidade periódica e controlada (duas retangulares e duas senoidais) com razão de aspecto suficientemente grande que produzam efeitos mensuráveis por RBS, foram produzidas por interferometria óptica. Os espectros RBS experimentais foram convertidos em rugosidade rms e comparados com resultados de SEM e AFM. Medir rugosidade através de RBS permite inspecionar uma área (da ordem de alguns mm2) e profundidades muito maiores que as acessíveis por AFM, apesar de ainda limitados pela resolução em energia intrínseca da metodologia RBS.
  • DOI: 10.11606/T.43.2006.tde-09042008-142058
  • Editor: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Instituto de Física
  • Data de publicação: 2006-11-24
  • Formato: Adobe PDF
  • Idioma: Português

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