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Epitaxial growth and orientation of AlN thin films on Si(001) substrates deposited by reactive magnetron sputtering

Valcheva, E. ; Birch, J. ; Persson, P. O. Å. ; Tungasmita, S. ; Hultman, L.

Journal of Applied Physics, 15 December 2006, Vol.100(12) [Periódico revisado por pares]

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