skip to main content

Study of reactive sputtering titanium oxide for metal-oxide-semiconductor capacitors

Torres, Katia Franklin Albertin; Pereyra, Ines Universidade De São Paulo

THIN SOLID FILMS, v.517, n.16, p.4548-4554, 2009

ELSEVIER SCIENCE SA 2009

Acesso online

Identifique-se para postar sua resenha

Identifique-se para adicionar novas tags

Buscando em bases de dados remotas. Favor aguardar.