skip to main content

Sputter deposition from a Ti 2AlC target: Process characterization and conditions for growth of Ti 2AlC

Frodelius, J ; Eklund, P ; Beckers, M ; Persson, P.O.Å ; Högberg, H ; Hultman, L

Thin Solid Films, 2010, Vol.518(6), pp.1621-1626 [Periódico revisado por pares]

Texto completo disponível

Citações Citado por

Buscando em bases de dados remotas. Favor aguardar.