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Response to “Comment on ‘Thickness and temperature depending intermixing of SiO x /SiO 2 and SiO x N y /SiO 2 superlattices: Experimental observation and thermodynamic modeling'” [Appl. Phys. Lett. 109 , 166101 (2016)]

Zhigunov, D. M. ; Sarikov, A. ; Chesnokov, Yu. M. ; Vasiliev, A. L. ; Zakharov, N. ; Kashkarov, P. K.

Applied Physics Letters, 17 October 2016, Vol.109(16) [Periódico revisado por pares]

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