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Piezoelectric Aluminum Nitride Vibrating Contour-Mode MEMS Resonators
Piazza, G. ; Stephanou, P.J. ; Pisano, A.P.
Journal of microelectromechanical systems, 2006-12, Vol.15 (6), p.1406-1418
[Periódico revisado por pares]
New York, NY: IEEE
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