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Fracture toughness of multilayer silicon nitride with crack deflection

Ohji, Tatsuki ; Shigegaki, Yasuhiro ; Kondo, Naoki ; Suzuki, Yoshikazu WCA

Materials letters, 1999-09, Vol.40 (6), p.280-284 [Periódico revisado por pares]

Amsterdam: Elsevier B.V

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