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Modificação de superfície de diamante utilizando plasma e caracterização por kelvin force microscopy

Araujo, Wagner Wlysses Rodrigues De

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Instituto de Física 2010-11-19

Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos.

  • Título:
    Modificação de superfície de diamante utilizando plasma e caracterização por kelvin force microscopy
  • Autor: Araujo, Wagner Wlysses Rodrigues De
  • Orientador: Salvadori, Maria Cecilia Barbosa da Silveira
  • Assuntos: Filmes Finos; Física Da Matéria Condensada; Potencial Elétrico; Superfície Física; Condensed Matter Physics; Electric Potential; Physical Surface; Thin Films
  • Notas: Dissertação (Mestrado)
  • Descrição: Neste trabalho nós produzimos e caracterizamos superfícies de diamante policristalino com áreas seletivas oxidadas e fluoradas a partir de superfícies originalmente hidrogenadas, usando um canhão de plasma para bombardear a superfície do diamante. A técnica que foi utilizada para a produção de filmes de diamante com superfícies hidrogenadas foi a deposição química a vapor por plasma de microondas. A seletividade de área para posterior oxidação foi realizada através de litografia por feixe de elétrons. A oxidação e a fluoração das áreas selecionadas foi feita por plasma de oxigênio e hexaflureto de enxofre, respectivamente. As caracterizações foram realizadas através de microscopia eletrônica de varredura convencional, microscopia de força atômica, Kelvin Force Microscopy e medida de ângulo de contato.
  • DOI: 10.11606/D.43.2010.tde-26012011-114805
  • Editor: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Instituto de Física
  • Data de criação/publicação: 2010-11-19
  • Formato: Adobe PDF
  • Idioma: Português
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