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Epitaxial growth of phase-pure ε-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy

Oshima, Yuichi ; Víllora, Encarnación G. ; Matsushita, Yoshitaka ; Yamamoto, Satoshi ; Shimamura, Kiyoshi

Journal of applied physics, 2015-08, Vol.118 (8) [Periódico revisado por pares]

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