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Obtenção e caracterização de revestimentos compostos de multicamadas TiO2/TiN

André Gonçalves Marina Fuser Pillis

2010

Localização: IPEN - Inst. Pesquisas Energ. Nucleares    (T539.23: G635o )(Acessar)

  • Título:
    Obtenção e caracterização de revestimentos compostos de multicamadas TiO2/TiN
  • Autor: André Gonçalves
  • Marina Fuser Pillis
  • Assuntos: REVESTIMENTO DE SUPERFÍCIES; TITÂNIO; FILMES FINOS
  • Notas: Dissertação (Mestrado)
  • Descrição: A nanociência emergiu nos últimos anos como uma das áreas mais importantes para os futuros desenvolvimentos tecnológicos, especialmente na área de dispositivos eletrônicos. A nanotecnologia tem um caráter primordialmente interdisciplinar, que engloba conhecimentos de física, química, engenharias e biologia. Essa tecnologia está sendo usada da fabricação de microprocessadores, bombas dosadoras de fármacos e revestimentos em materiais, entre outras aplicações. Revestimentos nanocristalinos vêm sendo obtidos por meio da técnica MOCVD (deposição química de organometálicos em fase vapor), e tem proporcionado a obtenção de filmes de melhor qualidade que os obtidos por CVD convencional ou por métodos físicos. Além disso, a técnica MOCVD apresenta-se como uma alternativa competitiva porque é relativamente barata e mais fácil de ser implantada, em relação aos métodos de deposição física. Neste trabalho foram obtidos revestimentos compostos por multicamadas de TiO2/TiN. Durante o experimento, a abertura e o fechamento das válvulas de admissão dos gases exige do operador habilidade manual para acionar a válvula e controlar o tempo de deposição, o que gera possibilidade de erros, implicando diretamente na espessura de cada camada. Assim, a necessidade de diminuir a influência do operador e poder utilizar intervalos de tempo menores que um minuto para os crescimentos, gerou a oportunidade de criar um programa de computador para gerenciar todo o sistema. Tal programa foi desenvolvido
    utilizando-se o conceito de Máquina de Estados para o controle de processo e simulação Hardware in the loop
  • Data de criação/publicação: 2010
  • Formato: 72 p.
  • Idioma: Português
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