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Estudo e controle do grau de anisotropia na corrosão a seco de dióxido de silício

Antonio Carlos Seabra 1961- Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica (4. 1989 Porto Alegre)

Anais Porto Alegre : Sbmicro/Ufrgs, 1989

Porto Alegre Sbmicro/Ufrgs 1989

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