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Structural and Electrical Properties of Ga2O3 Films Deposited under Different Atmospheres by Pulsed Laser Deposition

Zhang, Fabi ; Li, Haiou ; Guo, Qixin

Journal of electronic materials, 2018-11, Vol.47 (11), p.6635-6640 [Periódico revisado por pares]

New York: Springer US

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