skip to main content
Primo Search
Search in: Busca Geral

Etch rates for micromachining processing-Part II

Williams, K.R. ; Gupta, K. ; Wasilik, M.

Journal of microelectromechanical systems, 2003-12, Vol.12 (6), p.761-778 [Periódico revisado por pares]

New York, NY: IEEE

Texto completo disponível

Citações Citado por

Buscando em bases de dados remotas. Favor aguardar.