Influence of the fluorine addition on the electric characteristics of DLC films deposited by high density plasma chemical vapor deposition

Ana Paula Mousinho Ronaldo Domingues Mansano 1964-; Brazilian Meeting on Plasma Physics (7th 2003 São Pedro)

Program and Abstracts. São Paulo: SBF, 2003

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Título:
Influence of the fluorine addition on the electric characteristics of DLC films deposited by high density plasma chemical vapor deposition
Autor: Ana Paula Mousinho
Ronaldo Domingues Mansano 1964-; Brazilian Meeting on Plasma Physics (7th 2003 São Pedro)
Assuntos: PLASMA (MICROELETRÔNICA)
É parte de: Program and Abstracts. São Paulo: SBF, 2003
Editor: São Paulo SBF
Data de criação/publicação: 2003
Formato: p. 106.
Idioma: Inglês

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