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Handbook of ion beam processing technology principles, deposition, film modification, and synthesis

J. J Cuomo; Stephen M Rossnagel; Harold R Kaufman

Park Ridge, N.J., U.S.A. Noyes Publications c1989

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central    (621.385 C92h )(Acessar)

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