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Study of the structural properties of the PECVD SiOxNy dielectric layers obtained with different RF powers by XANES and EXAFS analysis

Katia Franklin Albertin Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Brazilian MRS Meeting (5. 2006 Florianópolis, SC)

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Título:
Study of the structural properties of the PECVD SiOxNy dielectric layers obtained with different RF powers by XANES and EXAFS analysis
Autor: Katia Franklin Albertin
Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Inés Pereyra 1947-; Brazilian MRS Meeting (5. 2006 Florianópolis, SC)
Assuntos: MATERIAIS
É parte de: Abstracts
Editor: Florianópolis SBPMat - Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais
Data de criação/publicação: 2006
Formato: p.1.
Idioma: Inglês

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