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Atomically precise placement of single dopants in si

Schofield, S R ; Curson, N J ; Simmons, M Y ; Ruess, F J ; Hallam, T ; Oberbeck, L ; Clark, R G

Physical review letters, 2003-09, Vol.91 (13), p.136104-136104, Article 136104 [Periódico revisado por pares]

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