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Caracterização de filmes obtidos a partir da deposição de hexametildissilazana

Sandrino Nogueira Maria Lucia Pereira da Silva 1957-

São Paulo EPUSP 2000

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  • Título:
    Caracterização de filmes obtidos a partir da deposição de hexametildissilazana
  • Autor: Sandrino Nogueira
  • Maria Lucia Pereira da Silva 1957-
  • Assuntos: CIRCUITOS INTEGRADOS
  • Títulos relacionados: Série:Boletim Técnico da Escola Politécnica da USP. Departamento de Engenharia de Sistemas Eletrônicos, BT/PSI/0010
  • Editor: São Paulo EPUSP
  • Data de criação/publicação: 2000
  • Formato: 20 p.
  • Idioma: Português
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