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Producao e caracterizacao de peliculas de ligas de silicio amorfo hidrogenado dopadas com boro

Carlos Alberto Santos Ramos Inés Pereyra 1947-

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central (FD-1280 ) e outros locais(Acessar)

Título:
Producao e caracterizacao de peliculas de ligas de silicio amorfo hidrogenado dopadas com boro
Autor: Carlos Alberto Santos Ramos
Inés Pereyra 1947-
Assuntos: ENGENHARIA ELÉTRICA
Notas: Dissertação (Mestrado)
Descrição: Neste trabalho foi realizado o estudo de filmes de silicio amorfo hidrogenado e suas ligas com carbono dopados com boro, num reator planar de descarga luminosa capacitiva de rf. Durante os estudos, que visavam a obtencao das condicoes ideais de deposicao desses materiais, foi observado um fator limitante, que diz respeito principalmente aos tipos de gases inseridos dentro da camara de deposicao. Neste caso nos referimos ao helio, utilizado como diluente no cilindro da diborana, que leva a producao de peliculas com propriedades opto-eletricas pobres, contrariamente as peliculas intrinsecas ou dopadas com fosforo depositadas no mesmo reator
Data de criação/publicação: 1991
Formato: 118p.
Idioma: Português

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