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InfluÊncia do conteÚdo de carbono nos materiais de carbeto de silÍcio amorfo hidrogenado (a-'IND.1-X SI''IND.X C' h)

Roberto Koji Onmori 1961- Inés Pereyra 1947-

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central (FD-1141 ) e outros locais(Acessar)

Título:
InfluÊncia do conteÚdo de carbono nos materiais de carbeto de silÍcio amorfo hidrogenado (a-'IND.1-X SI''IND.X C' h)
Autor: Roberto Koji Onmori 1961-
Inés Pereyra 1947-
Assuntos: ENGENHARIA ELÉTRICA
Notas: Dissertação (Mestrado)
Descrição: O presente trabalho visa a obtencao de filmes de carbeto de silicio amorfo hidrogenado (a-'SI IND.1-X''C IND.X':h) com um reator de desarga luminosa (dl) do laboratorio de microeletronica da universidade de sao paulo (lme-usp). Uma sequencia de caracterizacoes opticas, eletricas e composicionais foi realizada para acompanhar a evolucao da incorporacao de carbono nos filmes na fase solida em funcao da pressao parcial de metano e da densidade de potencia do rf. A efeiciencia da incorporacao do carbono foi estudada a partir da espectroscopia de eletrons auger. Com a espectroscopia de infravermelho, foram analisadas os tipos de ligacoes possiveis do carbono com hidrogenio e silicio. A estabilidade das ligacoes foi verificada submetendo-se as amostras a tratamentos termicos. A possibilidade de desenvolvimento de filmes de a-'SI IND.1-X''C IND.X':h com alta resistividade, baixa densidade de estados e transparencias elevadas permitiu o uso do material estudado em alguns dispositivos fotovoltaicos e eletronicos
Data de criação/publicação: 1990
Formato: 141p.
Idioma: Português

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