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Ultra-high-precision surface structuring by synchronizing a galvo scanner with an ultra-short-pulsed laser system in MOPA arrangement

Jaeggi, B ; Neuenschwander, B ; Hunziker, U ; Zuercher, J ; Meier, T ; Zimmermann, M ; Selbmann, KH ; Hennig, G

Proceedings of SPIE, the international society for optical engineering, 2012, Vol.8243

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