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Characteristics of He/O2 atmospheric pressure glow discharge and its dry etching properties of organic materials

Lee, Yong-Hyuk ; Yi, Chang-Heon ; Chung, Min-Jae ; Yeom, Geun-Young

Surface & coatings technology, 2001-09, Vol.146-147, p.474-479 [Periódico revisado por pares]

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