Optical waveguides of PECVD silicon oxynitride films
Marco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-; Wanderla Luis Scopel; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Encontro da Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais (1. 2002 Rio de Janeiro)
Programa e Livro de Resumos Rio de Janeiro : SBPMat, 2002Rio de Janeiro SBPMat 2002
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