Focused helium ion beam milling and deposition
Boden, S.A. ; Moktadir, Z. ; Bagnall, D.M. ; Mizuta, H. ; Rutt, H.N.
Microelectronic engineering, 2011-08, Vol.88 (8), p.2452-2455
[Periódico revisado por pares]
Amsterdam: Elsevier B.V
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