Idioma:

Handbook of thin-film deposition processes and techniques principles, methods, equipment and applications

Krishna Seshan

Localização: EPMT - Esc. Politécnica-Bib Eng Metal (539.23 H191 2.ed. ) e outros locais(Acessar)

Título:
Handbook of thin-film deposition processes and techniques principles, methods, equipment and applications
Autor: Krishna Seshan
Assuntos: Thin film devices -- Design and construction -- Handbooks, manuals, etc; Thin films -- Handbooks, manuals, etc; Chemical vapor deposition -- Handbooks, manuals, etc; FILMES FINOS (EQUIPAMENTOS)
Notas: Includes bibliographical references and index.
Títulos relacionados: Série:Materials science and process technology series. Electronic materials and process technology
Editor: Norwich, N.Y. Noyes Publications/William Andrew Pub.
Data de criação/publicação: c2002
Formato: xxviii, 629 p. ill. 24 cm.
Idioma: Inglês

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