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Thin-film deposition principles and practice
Donald L. Smith 1944- (Donald Leonard)
New York McGraw-Hill c1995
Localização:
CQ - Conjunto das Químicas
(621.38152 S645t )
e outros locais
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Título:
Thin-film deposition principles and practice
Autor:
Donald L. Smith 1944- (Donald Leonard)
Assuntos:
Vapor-plating
;
Thin film devices
;
Thin films
;
SEMICONDUTORES
;
FILMES FINOS
Notas:
Includes bibliographical references and index
Editor:
New York McGraw-Hill
Data de criação/publicação:
c1995
Formato:
xxiii, 616 p. il. 24 cm.
Idioma:
Inglês
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