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Processamento com laser de femtossegundos em diamond-like carbon

Almeida Filho, Flavio Pinto De

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Instituto de Física de São Carlos 2019-09-19

Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos.

  • Título:
    Processamento com laser de femtossegundos em diamond-like carbon
  • Autor: Almeida Filho, Flavio Pinto De
  • Orientador: Mendonça, Cleber Renato
  • Assuntos: Diamond Like Carbon; Incubação; Microfabricação; Diamond Like Carbon; Incubation; Micromachine
  • Notas: Dissertação (Mestrado)
  • Descrição: Neste trabalho investigamos o processo de estruturação em filmes de Diamond-like Carbon (DLC) através do uso de pulsos laser de femtossegundos (100 fs, 800 nm, 1 KHz e 5 MHz). Determinamos a fluência de limiar para estruturação do DLC como sendo da ordem de 1 J/cm2 para pulso único e de aproximadamente 0,1 J/cm2 quando a amostra é submetida a um grande número de pulsos (> 104 pulsos). Por meio da espectroscopia Raman determinamos as intensidades de pico das bandas D e G, características do DLC, e a partir da sua razão foi possível estimar uma fração de hibridações sp3 na amostra de 70 %. Identificamos ainda a ocorrência do processo de grafitização nas regiões onde houve a irradiação laser. Finalmente, foi possível também observar a formação de pequenas estruturas assimétricas, com diâmetro médio de 1,5 μm e espaçamento de 3 μm, geradas por uma fluência de 0,13 J/cm2. Por meio da espectroscopia de raio X por dispersão (EDS), concluímos que tais estruturas são geradas pelo processo de fusão do substrato facilitada pela interação da luz com o filme de DLC.
  • DOI: 10.11606/D.76.2020.tde-11052020-134154
  • Editor: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Instituto de Física de São Carlos
  • Data de criação/publicação: 2019-09-19
  • Formato: Adobe PDF
  • Idioma: Português
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