Ion tracks and microtechnology principles and applications
ABCD PBi
Ion tracks and microtechnology principles and applications
Autor:
Reimar Spohr
Klaus Bethge 1931-
Assuntos:
Materials -- Effect of radiation on
;
Ion bombardment -- Industrial applications
;
Ion beam lithography
;
FÍSICA DO ESTADO GASOSO
Notas:
Includes bibliographical references and index
Editor:
Braunschweig Vieweg
Data de criação/publicação:
c1990
Formato:
ix, 272 p. ill. 25 cm.
Idioma:
Inglês
Disponível na Biblioteca:
FFCLRP - Fac. Fil. Ciên. Let. de R. Preto (537.561 S762i e.2 )