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Identificação

Idioma:

The physics and chemistry of SiOb2s and the Si-SiOb2s interface

Symposium on the Physics and Chemistry of SiOb2s and the Si-SiOb2s Interface (1st 1988 Atlanta, Ga.) C. Robert Helms; Bruce E Deal; Electrochemical Society Meeting Atlanta, Ga.) (1988

New York Plenum Press c1988

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central (546.28 Sy68p )(Acessar)

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Título:
The physics and chemistry of SiOb2s and the Si-SiOb2s interface
Autor: Symposium on the Physics and Chemistry of SiOb2s and the Si-SiOb2s Interface (1st 1988 Atlanta, Ga.)
C. Robert Helms; Bruce E Deal; Electrochemical Society Meeting Atlanta, Ga.) (1988
Assuntos: Silica -- Congresses; Surfaces (Physics) -- Congresses; Surface chemistry -- Congresses; SILÍCIO; SUPERFÍCIE FÍSICA; QUÍMICA DE SUPERFÍCIE; MICROELETRÔNICA; Silicon dioxide Chemical properties; Silicon dioxide Physical properties
Notas: Includes bibliographies and index
Editor: New York Plenum Press
Data de criação/publicação: c1988
Formato: xiii, 556 p. ill. 26 cm.
Idioma: Inglês

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