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A comparative study of single and double langmuir probe techniques for RF plasma characterization

Raul Murete de Castro Giuseppe Antonio Cirino; Patrick Bernard Verdonck 1958-; Homero Santiago Maciel; Marcos Massi; M B Pisani; Ronaldo Domingues Mansano 1964-

Contributions to plasma physics Berlin v.39, n.3, p.235-246, 1999

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Título:
A comparative study of single and double langmuir probe techniques for RF plasma characterization
Autor: Raul Murete de Castro
Giuseppe Antonio Cirino; Patrick Bernard Verdonck 1958-; Homero Santiago Maciel; Marcos Massi; M B Pisani; Ronaldo Domingues Mansano 1964-
Assuntos: PLASMA (MICROELETRÔNICA)
É parte de: Contributions to plasma physics Berlin v.39, n.3, p.235-246, 1999
Editor: Berlin
Data de criação/publicação: 1999
Formato: p.235-246.
Idioma: Inglês

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